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Si-SiO2 계면에서의 산화물 고정 전하의 위치에 따른 전계효과 트랜지스터 전기적 특성

  • 김태환
제목
Si-SiO2 계면에서의 산화물 고정 전하의 위치에 따른 전계효과 트랜지스터 전기적 특성
저자
김태환
발행일
2010-08-18
학회명
2010　제 39회 한국진공학회 하계 정기 학술대회
개최지
무창포 비체팰리스, 충남 보령, Korea

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