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전자빔 증착법에 의한 Indium Tin Oxide박막의 증착속도에 따른 광학적 물성변화

  • 김은규
제목
전자빔 증착법에 의한 Indium Tin Oxide박막의 증착속도에 따른 광학적 물성변화
저자
김은규
발행일
2012-08-21
학회명
제43회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
라마다프라자 제주호텔

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