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Si3N4/HfAlO 터널 절연막을 이용한 나노 부유게이트 커패시터의 전기적 특성 연구

  • 김은규
제목
Si3N4/HfAlO 터널 절연막을 이용한 나노 부유게이트 커패시터의 전기적 특성 연구
저자
김은규
발행일
2011-02-18
학회명
제40회 한국진공학회 동계학술대회
개최지
휘닉스파크

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