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Laser Spallation Test for Measurement of the Interfacial Adhesion of LPCVD and PECVD Silicon Nitride/Copper Films
- 제목
- Laser Spallation Test for Measurement of the Interfacial Adhesion of LPCVD and PECVD Silicon Nitride/Copper Films
- 저자
- 이승환
- 발행일
- 2024-11-08
- 학회명
- ISMP-IRSP 2024
- 개최지
- 부산 파라다이스 호텔