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SiO1.3N 유전체내에 2중구조로 형성된 금 나노입자를 사용한 나노부유게이트 비휘발성 메모리소자의 특성 향상

  • 김은규
제목
SiO1.3N 유전체내에 2중구조로 형성된 금 나노입자를 사용한 나노부유게이트 비휘발성 메모리소자의 특성 향상
저자
김은규
발행일
2008-02-15
학회명
제34회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
단국대학교 죽전캠퍼스

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