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나노 리소그래피에 의한 Ag 나노입자 어레이 제작과 ZnO 기반 UV 검출기의 광전류 증대 효과

  • 김은규
제목
나노 리소그래피에 의한 Ag 나노입자 어레이 제작과 ZnO 기반 UV 검출기의 광전류 증대 효과
저자
김은규
발행일
2019-08-14
학회명
제57회 한국진공학회 하계정기학술대회
개최지
홍천 대명비발디파크

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