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PECVD로 증착한 InSb 적외선 감지소자용 Si3N4 절연막에 대한 연구

  • 김은규
제목
PECVD로 증착한 InSb 적외선 감지소자용 Si3N4 절연막에 대한 연구
저자
김은규
발행일
2009-08-20
학회명
제37회 한국진공학회 하계정기학술대회
개최지
디오션리조트

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