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UHV RF magnetron sputtering법으로 제작된 ZTO 박막의 특성 연구

  • 김은규
제목
UHV RF magnetron sputtering법으로 제작된 ZTO 박막의 특성 연구
저자
김은규
발행일
2015-10-21
학회명
2015년 한국물리학회 가을학술논문발표회
개최지
경주화백컨벤션센터

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