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ECR 플라즈마를 이용한 Ru 박막의 식각특성

제목
ECR 플라즈마를 이용한 Ru 박막의 식각특성
저자
안진호
발행일
2002-11-08
학회명
2002년도 한국마이크로전자 및 패키징 학회 추계 기술 심포지움
개최지
아주대

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