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MOCVD를 이용한 Hafnium Oxide 박막증착

제목
MOCVD를 이용한 Hafnium Oxide 박막증착
저자
안진호
발행일
2002-05-03
학회명
2002년도 한국마이크로전자 및 패키징 학회 춘계 기술 심포지움
개최지
경기대

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