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Thermal atomic layer deposition of Molybdenum trioxide using metal organic precursor and H2O reactant

  • 전형탁
제목
Thermal atomic layer deposition of Molybdenum trioxide using metal organic precursor and H2O reactant
저자
전형탁
발행일
2021-05-13
학회명
2021년도 한국재료학회 춘계학술대회
개최지
광주 김대중 컨벤션센터(온라인 병행)

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