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정전기력을 고려한 MEMS 가속도계 성능분석

MEMS Accelerometer Performance Analysis Undertaking Electrostatic Force

김형영;
유홍희

제목: 정전기력을 고려한 MEMS 가속도계 성능분석

제목 (타언어): MEMS Accelerometer Performance Analysis Undertaking Electrostatic Force

저자: 김형영; 유홍희

발행일: 2012-04

유형: Proceeding

저널명: 대한기계학회 2012년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집

페이지: 267 ~ 268