나노 구조를 지닌 Ti-Al-V-N, Al-V-N 박막의 경도 및 산화 거동에 관한 연구

초록

본 연구에서는 VN의 산화에 의한 고온 안정성의 개선을 위해 나노 구조를 도입하여 박막 소재의 경도 및 내산화성 변화를 고찰하였다. VN과 초격자를 형성하고 내산화성이 우수한 것으로 알려진 소재인 TiAlN, AlN 과의 나노 다층 구조 및 나노 복합구조를 갖도록 미세구조를 조절한 TiAlN/VN, AlN/VN 박막을 합성하여 나노 구조 형성 시 구조적 차이에 의한 기계적 물성과 내산화성을 직접적으로 비교 분석하였다.