ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

파장이 다른 레이저를 이용한 반도체 공정용 쿼츠 투과율 측정 및 비교

제목
파장이 다른 레이저를 이용한 반도체 공정용 쿼츠 투과율 측정 및 비교
저자
문승재
발행일
2023-05-11
학회명
대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2023년도 춘계학술대회
개최지
부경대학교 미래관

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.