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실리콘 카바이드(SiC) CMP 슬러리의 연구 동향

  • 황희섭; 
  • 박진형; 
  • 박재근; 
  • 전명철; 
  • 이승석; 
  • 외 2명
제목
실리콘 카바이드(SiC) CMP 슬러리의 연구 동향
저자
황희섭; 박진형; 박재근; 전명철; 이승석; 김장열; 김흥락
발행일
2012-04
유형
정기 학술지(note)
저널명
재료마당
권
25
호
2
페이지
17 ~ 21

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