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Work Function Modulation of Chlorine-Free TiAlN Films through Controlled Al Incorporation by Thermal ALD
- 제목
- Work Function Modulation of Chlorine-Free TiAlN Films through Controlled Al Incorporation by Thermal ALD
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2025-11-12
- 학회명
- KSIM 2025
- 개최지
- 부산 파라다이스 호텔