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Characteristics and process of ultra thin silicon membrane using B-doped Si wafer

  • 박재근
제목
Characteristics and process of ultra thin silicon membrane using B-doped Si wafer
저자
박재근
발행일
2007-04-19
학회명
한국물리학회 2007년 봄 학술논문발표회
개최지
휘닉스파크

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