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CF4, Cl2 가스를 이용한 유기-무기 다층 분자막 구조 EUV 포토레지스트의 건식 현상 공정 성능 비교 연구

제목
CF4, Cl2 가스를 이용한 유기-무기 다층 분자막 구조 EUV 포토레지스트의 건식 현상 공정 성능 비교 연구
저자
안진호
발행일
2023-08-22
학회명
2023 차세대 리소그래피 학술대회
개최지
수원 컨벤션센터

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