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SiNx 박막 내 산포된 ZnO 나노입자의 전기적 특성에 관한 연구

  • 김태환
제목
SiNx 박막 내 산포된 ZnO 나노입자의 전기적 특성에 관한 연구
저자
김태환
발행일
2007-08-16
학회명
The 33th Annual Conference of the Korean Vacuum Society
개최지
Ramada Plaza Jeju, Jeju, Korea

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