ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

Structural study of plasma deposited carborane (C2B10H12) film on Si wafer

  • 정규선
제목
Structural study of plasma deposited carborane (C2B10H12) film on Si wafer
저자
정규선
발행일
2011-04-14
학회명
2011년 한국물리학회 봄학술논문발표회 및 제 87회 정기총회
개최지
대한민국

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.