상세 보기
Fabrication of High Aspect Ratio Nanoscale Pattern Array by Oxygen Plasma Assisted Resist Trimming
- 제목
- Fabrication of High Aspect Ratio Nanoscale Pattern Array by Oxygen Plasma Assisted Resist Trimming
- 저자
- 이승백
- 발행일
- 2011-08-24
- 학회명
- Nano Korea Symposium 2011
- 개최지
- 일산 Kintex