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Charateristics of hybrid mask mold for combined nanoimprint and photolithography technique
- 제목
- Charateristics of hybrid mask mold for combined nanoimprint and photolithography technique
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2005-09-29
- 학회명
- 2005 한국반도체 및 디스플레이장비학회 추계학술대회
- 개최지
- 코엑스