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Dependency of SOI BOX Thickness on trap density of SOI wafers in Pseudo MOS Transistor

  • 박재근
제목
Dependency of SOI BOX Thickness on trap density of SOI wafers in Pseudo MOS Transistor
저자
박재근
발행일
2005-05-26
학회명
2005년도 한국재료학회 춘계학술대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
개최지
무주리조트 티롤호텔(KOREA)

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