ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor

  • 전형탁
제목
Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor
저자
전형탁
발행일
2018-11-08
학회명
2018년도 한국재료학회 추계학술대회
개최지
여수 디오션 리조트

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.