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다양한 전기탐침을 이용한 RF 플라즈마 전자온도의 측정

  • 정규선
제목
다양한 전기탐침을 이용한 RF 플라즈마 전자온도의 측정
저자
정규선
발행일
2006-07-13
학회명
대한전기학회 제37회하계학술대회
개최지
용평, 대한민국

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