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Comparing Growth Behaviors of PEALD In2O3 Layer Using Amine and Alkyl-Based Novel Indium Precursors
- 제목
- Comparing Growth Behaviors of PEALD In2O3 Layer Using Amine and Alkyl-Based Novel Indium Precursors
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2023-08-23
- 학회명
- IMID 2023
- 개최지
- 부산 해운대