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Plasma Ashing of Low-k Dielectric Films by using the Ferrite-Core Technologies
- 제목
- Plasma Ashing of Low-k Dielectric Films by using the Ferrite-Core Technologies
- 저자
- 김현우
- 발행일
- 2022-11-14
- 학회명
- 2022 KISM Korean International Semiconductor Conference on Manufacturing Technology 2022
- 개최지
- 파라다이스 호텔 부산 해운대