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리모트 플라즈마 원자층 증착 기술 및 high-k 응용

  • 전형탁
제목
리모트 플라즈마 원자층 증착 기술 및 high-k 응용
저자
전형탁
발행일
2010-05-13
학회명
춘계학술발표대회 및 제 18회 신소재 심포지엄
개최지
삼척 펠리스 호텔

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