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효율적인 원자층 증착 순서에 의한 Al 도펀트의 ZnO 박막에의 균일한 분포에 대한 연구

  • 전형탁
제목
효율적인 원자층 증착 순서에 의한 Al 도펀트의 ZnO 박막에의 균일한 분포에 대한 연구
저자
전형탁
발행일
2011-06-02
학회명
한국반도체디스플레이기술학회 2011년 춘계 학술대회
개최지
서울대학교 엔지니어하우스

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