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이중주파수 유도결합 플라즈마에서 모드전이 연구

  • 김주호
제목
이중주파수 유도결합 플라즈마에서 모드전이 연구
저자
김주호
발행일
2021-02-05
학회명
The 60th Winter Annual Conference of The Korean Vacuum Society
개최지
소노캄(제주)

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