Memory characteristics of Cobalt-Silicide nanocrystals embedded in HfO2 gate oxide for nonvoltiel flash devices

초록

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제목
Memory characteristics of Cobalt-Silicide nanocrystals embedded in HfO2 gate oxide for nonvoltiel flash devices
저자
홍진표
발행일
2008-02-14
학회명
한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
단국대학교 죽전캠퍼스