가스 혼합비에 따른 플라즈마 내의 아르곤 준안정 준위 원자밀도의 거동

제목
가스 혼합비에 따른 플라즈마 내의 아르곤 준안정 준위 원자밀도의 거동
저자
이원욱
발행일
2022-02-16
학회명
제62회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
강원도 횡성