NCA 물성에 따른 극미세 피치 COG (Chip on Glass) In, Sn 접합부의 신뢰성 특성평가

Improvement of reliability of COG bonding using In, Sn bumps and NCA
  • 정승민
  • 김영호

초록

NCA의 물성이 미세피치 Chip on glass (COG) 접합부의 신뢰성에 미치는 영향을 연구하였다. Si 위에 Sn을, 유리기판 위에 In을 열증발방법으로 증착하고 lift-off 방법을 이용하여 30 ㎛ 피치를 가지는 솔더범프를 형성하였으며 열압착 방법으로 120℃에서 In범프와 Sn범프를 접합하였다. 접합할때 세 종류의 Non conductive adhesive (NCA)를 적용하였다. 신뢰성은 0℃와 100℃ 사이로 열충격시험을 2000회까지 실시하여 평가하였다. 4단자 저항측정법을 이용하여 접합부의 저항을 측정하였다. 필러의 양이 증가할수록 열충격시험 후 접합부의 저항이 가장 적게 증가하여 신뢰성이 우수하였다. 필러의 양이 증가할수록 NCA의 열팽창이 작아지기 때문이다.

키워드

COG bondingNCA bondingFlip chip bondingReliability test
제목
NCA 물성에 따른 극미세 피치 COG (Chip on Glass) In, Sn 접합부의 신뢰성 특성평가
제목 (타언어)
Improvement of reliability of COG bonding using In, Sn bumps and NCA
저자
정승민김영호
발행일
2006-00
저널명
마이크로전자 및 패키징학회지
13
2
페이지
21 ~ 26