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Atomic Layer Deposition for Nanoscale Oxide Semiconductor Field Effect Transistors : Four Values and Outlook
- 제목
- Atomic Layer Deposition for Nanoscale Oxide Semiconductor Field Effect Transistors : Four Values and Outlook
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2023-11-20
- 학회명
- KISM 2023
- 개최지
- 부산 해운대