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Low temperature SiOx thin film deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for thin film encapsulation applications
- 제목
- Low temperature SiOx thin film deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for thin film encapsulation applications
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2017-11-16
- 학회명
- 2017년도 추계 학술대회
- 개최지
- 경주, 현대호텔