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"Remote plasma ALD법을 사용한 Cobalt 및 Cobalt Silicide 막의 특성에 관한 연구"

  • 전형탁
제목
"Remote plasma ALD법을 사용한 Cobalt 및 Cobalt Silicide 막의 특성에 관한 연구"
저자
전형탁
발행일
2005-11-10
학회명
2005년도 한국재료학회 추계학술대회 및 제9회 신소재 심포지엄
개최지
한양대학교 한양종합 기술연구동(HIT)

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