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스퍼터 증착한 Cu/Cr/Polyimide 시스템에서의 Cu의 증착조건에 따른 접착력 거동

  • 김영호
제목
스퍼터 증착한 Cu/Cr/Polyimide 시스템에서의 Cu의 증착조건에 따른 접착력 거동
저자
김영호
발행일
1997-11-01
학회명
97한국재료학회추계학술발표회초록집

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