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단일층으로 형성된 TiSi2 나노입자를 이용한 나노부유게이트 메모리소자의 전기적 특성연구

  • 김은규
제목
단일층으로 형성된 TiSi2 나노입자를 이용한 나노부유게이트 메모리소자의 전기적 특성연구
저자
김은규
발행일
2009-02-12
학회명
제36회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
현대성우리조트

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