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스퍼터링 방법에 의하여 p-형 Si기판 위에 형성된 높은 투명성과 전도성을 가진 Al-도핑된 ZnO박막

  • 김태환
제목
스퍼터링 방법에 의하여 p-형 Si기판 위에 형성된 높은 투명성과 전도성을 가진 Al-도핑된 ZnO박막
저자
김태환
발행일
2009-02-11
학회명
2009년 한국 진공학회 동계 정기학술대회
개최지
현대성우리조트, 횡성, Korea

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