β-Ga2O3 solar-blind photodetectors by oxygen plasma-assisted pulsed laser deposition with various RF power

  • 김은규
제목
β-Ga2O3 solar-blind photodetectors by oxygen plasma-assisted pulsed laser deposition with various RF power
저자
김은규
발행일
2022-02-16
학회명
제 62회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
횡성 웰리힐리파크