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Effects of Abrasive Size and Molecular Weight of Poly(acrylic-acid) in Ceria Slurry on Pattern Density and Removal Selectivity of SiO2 SiN4 Films in STI
- 제목
- Effects of Abrasive Size and Molecular Weight of Poly(acrylic-acid) in Ceria Slurry on Pattern Density and Removal Selectivity of SiO2 SiN4 Films in STI
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2007-04-19
- 학회명
- 한국물리학회 2007년 봄 학술논물발표회
- 개최지
- 휘닉스파크