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Fabrication of 10 nm Line-and-Space Nanoprobes using Multilayer Sidewall Deposition and Chemical-Mechanical Polishing
- 제목
- Fabrication of 10 nm Line-and-Space Nanoprobes using Multilayer Sidewall Deposition and Chemical-Mechanical Polishing
- 저자
- 이승백
- 발행일
- 2011-08-24
- 학회명
- Nano Korea Symposium 2011
- 개최지
- 일산 Kintex