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TiSi2 나노입자를 이용한 나노 부유게이트 캐패시터 제작 및 전기적 특성 연구

  • 김은규
제목
TiSi2 나노입자를 이용한 나노 부유게이트 캐패시터 제작 및 전기적 특성 연구
저자
김은규
발행일
2008-08-21
학회명
제35회 한국진공학회 하계정기학술대회
개최지
라마다프라자 제주호텔

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