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DRAM capacitor용 고유전율 TIO2의 오존 농도에 따른 결정성 변화 연구

  • 전형탁
제목
DRAM capacitor용 고유전율 TIO2의 오존 농도에 따른 결정성 변화 연구
저자
전형탁
발행일
2024-06-08
학회명
GICM 2024

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