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열처리 온도에 따른 Ru/SiGe 계면에서의 반응을 통한 접촉저항 공정 평가

제목
열처리 온도에 따른 Ru/SiGe 계면에서의 반응을 통한 접촉저항 공정 평가
저자
안진호
발행일
2025-02-13
학회명
The 32th Korean Conference on Semiconductors
개최지
강원도 하이원리조트

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