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화학적 산화막에 의한 Si(100)와 Si(111)기판위에서의 CoSi2정합 성장

  • 전형탁
제목
화학적 산화막에 의한 Si(100)와 Si(111)기판위에서의 CoSi2정합 성장
저자
전형탁
발행일
1998-05-01
학회명
한국재료학회 춘계 학술대회

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