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NF3 플라즈마를 이용한 인코넬 모재 위 코발트 산화막의 식각반응 연구

제목
NF3 플라즈마를 이용한 인코넬 모재 위 코발트 산화막의 식각반응 연구
저자
김경민; 채산; 전상환; 김용수
발행일
2011-05
유형
Proceeding
저널명
2011 한국방사성폐기물학회 춘계학술대회 논문요약집
페이지
283 ~ 284

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