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실리콘이 함유된 비정질 탄소박막의 잔류응력 거동 전산모사

제목
실리콘이 함유된 비정질 탄소박막의 잔류응력 거동 전산모사
저자
정용재
발행일
2005-05-20
학회명
2005년도 한국표면공학회 춘계학술발표회
개최지
서울

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

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