Effect of Ozone Concentration on ALD Al2O3 Encapsulation Layer for OLED

  • 전형탁
제목
Effect of Ozone Concentration on ALD Al2O3 Encapsulation Layer for OLED
저자
전형탁
발행일
2014-06-17
학회명
ALD 2014
개최지
Hotel Granvia Kyoto