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Impact of thermal expansion coefficient on the local tilt angle of extreme ultraviolet pellicle
- 제목
- Impact of thermal expansion coefficient on the local tilt angle of extreme ultraviolet pellicle
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2022-04-27
- 학회명
- 2022 SPIE Advanced Lithography + Patterning
- 개최지
- 미국